Ανάλυση αντικειμένου επεξεργασίας
Υλικό: γυαλί χαλαζία οπτικής ποιότητας
Χαρακτηριστικά επεξεργασίας: λείανση περιγράμματος πολλαπλών επιφανειών (συμπεριλαμβανομένων 3 ασύμμετρων όψεων)
Βασικές διαστάσεις: 16×16×10mm (σφάλμα ±0,002mm)
Αυτό το πρίσμα χαλαζία, το οποίο έχει μέγεθος μόνο ενός νυχιού, είναι το βασικό ελαφρύ-στοιχείο καθοδήγησης του οπτικού συστήματος μιας οικιακής μηχανής λιθογραφίας υψηλής-τελικής. Οι 8 πολύπλοκες καμπύλες επιφάνειές του πρέπει να επιτυγχάνουν 99,6% διαπερατότητα και ακρίβεια διαθλαστικής- επιπέδου νανομέτρων και η τραχύτητα της επιφάνειας επηρεάζει άμεσα την ανάλυση έκθεσης της μηχανής λιθογραφίας.
Βιομηχανικά σημεία πόνου και τεχνικές δυσκολίες
Μια εταιρεία οπτικής τεχνολογίας αντιμετώπισε ένα σημείο συμφόρησης στην επεξεργασία του πρίσματος χαλαζία κατά την προώθηση του εντοπισμού μηχανών λιθογραφίας:
Παραδοσιακά ελαττώματα λείανσης: Η τραχύτητα μετά το χειροκίνητο γυάλισμα εξακολουθεί να φτάνει τα 120 nm Sa, με αποτέλεσμα 15% απώλεια σκέδασης φωτός
Εξάρτηση εξοπλισμού από εισαγωγές: Το κόστος ενός ιαπωνικού μύλου υπερ-ακριβείας υπερβαίνει τα 20 εκατομμύρια γιουάν και η περίοδος παράδοσης είναι έως και 18 μήνες
Κρίση απόδοσης: Μόνο 32 από την πρώτη παρτίδα των 500 δοκιμαστικών παραγωγών πληρούσαν τα πρότυπα, καθυστερώντας σοβαρά την πρόοδο του έργου
Το δίλημμα "δεν μπορώ να αντέξω οικονομικά τον εισαγόμενο εξοπλισμό και οι εγχώριες διεργασίες δεν είναι καλές" εμπόδισε άμεσα τη διαδικασία ανάπτυξης ανεξάρτητης μηχανής λιθογραφίας.
ΜΠΙΣΕΝλύση λύσεων
Ως απάντηση στις ακραίες απαιτήσεις ακρίβειας των οπτικών εξαρτημάτων, η τεχνική ομάδα BISHEN έχει αναπτύξει καινοτόμο έρευνα και ανάπτυξη:
1. Υπερηχητικό σύστημα επεξεργασίας κατακόρυφων-σύνδεσης σύνδεσης πέντε αξόνων
2. 0.1μm-επίπεδο δυναμικής αντιστάθμισης, ακριβής έλεγχος εργαλειομηχανών σύνδεσης 18 αξόνων
3. Ταίριασμα ασύμμετρης επιφάνειας έξυπνος προγραμματισμός CAD/CAM
4. Τεχνολογία λείανσης με υπερήχους υψηλών{1}
Η δόνηση με υπερήχους 5. 40kHz μειώνει κατά 52% την πίεση κοπής και αποφεύγει τις μικρορωγμές χαλαζία
6. Η διάρκεια ζωής του τροχού λείανσης με μικρο{1}}διαμάντι σε σκόνη επεκτείνεται κατά 3 φορές
Πραγματικό μετρούμενο άλμα απόδοσης
Τρεις σημαντικές ανακαλύψεις έχουν επιτευχθεί στη μαζική παραγωγή ενός συγκεκριμένου τύπου πρίσματος εγχώριας μηχανής λιθογραφίας:
1. Ποιότητα επιφάνειας: Τραχύτητα Α.Ε<70nm (better than ASML supplier standard)
2.Αποτελεσματικότητα επεξεργασίας: Οι ώρες εργασίας ενός τεμαχίου-συμπιέζονται από 14 ώρες σε 3,5 ώρες
3. Έλεγχος κόστους: Η επένδυση σε εξοπλισμό είναι μόνο το 1/5 της εισαγόμενης λύσης
Το ποσοστό απόδοσης της πρώτης παρτίδας 3.000 προϊόντων εκτινάχθηκε στο 98,7%, βοηθώντας τους πελάτες να ολοκληρώσουν τη συναρμολόγηση των πρωτοτύπων 6 μήνες νωρίτερα από το χρονοδιάγραμμα
γιαΜΠΙΣΕΝ
ΜΠΙΣΕΝΗ Precision Technology (ιδρύθηκε το 2017) εστιάζει στη διάσπαση της τεχνολογίας του «σημαδιού συμφόρησης» στον τομέα της κατασκευής υψηλών{1}. Έχει κατασκευάσει ένα ψηφιακό εργοστάσιο 7.500 τετραγωνικών μέτρων στο Dongguan, εξοπλισμένο με συστάδες εισαγόμενου εξοπλισμού, όπως πέντε-κέντρα μηχανικής κατεργασίας σύνδεσης αξόνων και οπτικούς μύλους εξαιρετικά-ακριβείας. Εφαρμόζοντας καινοτόμες τεχνολογίες όπως η κατεργασία με υπερήχους και η κρυογονική κοπή σε εξοπλισμό ημιαγωγών, οπτοηλεκτρονικά όργανα και άλλους τομείς, έχει παράσχει λύσεις επεξεργασίας βασικών εξαρτημάτων για περισσότερες από 20 εγχώριες εταιρείες αλυσίδας μηχανών λιθογραφίας και έχει παραδώσει περισσότερα από 500.000 οπτικά εξαρτήματα ακριβείας.
