Υπόβαθρο υπόθεσης: "Πρόβλημα με χιλιάδες-τρύπες" στην κατασκευή τσιπ

Στον τομέα της επεξεργασίας τσιπ ημιαγωγών, το γυαλί χαλαζία χρησιμοποιείται ευρέως στην κατασκευή δίσκων ψεκασμού στη διαδικασία χάραξης λόγω της υψηλής καθαρότητας, της αντοχής σε υψηλή θερμοκρασία και της χημικής σταθερότητας. Οι απαιτήσεις επεξεργασίας ενός κορυφαίου κατασκευαστή εξοπλισμού τσιπ για δίσκους ψεκασμού χαλαζία είναι πολύ αντιπροσωπευτικές:
Υλικό: Γυαλί χαλαζία (σκληρότητα HV700)
Βασικά χαρακτηριστικά: διάμετρος 0,5 mm, μικρο-οπές βάθους 5 mm (αναλογία βάθους{{3} προς-διαμέτρου 10:1), 4.996 οπές πρέπει να υποστούν ομοιόμορφη επεξεργασία σε δίσκο με διάμετρο 280 mm
Απαιτήσεις ακρίβειας: Στρογγυλότητα οπής Μικρότερη ή ίση με ±5μm, σφάλμα θέσης<0.02mm, hole edge collapse ≤0.15mm
Ο κατασκευαστής χρησιμοποίησε αρχικά την παραδοσιακή τεχνολογία γεώτρησης, αλλά αντιμετώπισε δύο μοιραία προβλήματα:
Συμφόρηση αποτελεσματικότητας: Η επεξεργασία μιας οπής διαρκεί 270 δευτερόλεπτα και η επεξεργασία ενός δίσκου απαιτεί συνεχή λειτουργία για 34 ημέρες.
Απόδοση εκτός ελέγχου: Η κατάρρευση της ακμής της οπής φτάνει τα 0,4 mm, με αποτέλεσμα πάνω από το 30% των τεμαχίων να ραγίζουν και να απορρίπτονται λόγω συγκέντρωσης τάσεων.
Λύσεις BISHEN: Η τεχνολογία υπερήχων ανατρέπει τις παραδοσιακές χειροτεχνίες
Λαμβάνοντας υπόψη τα εύθραυστα και σκληρά χαρακτηριστικά του γυαλιού χαλαζία, η ομάδα Έρευνας & Ανάπτυξης BISHEN πρότεινε το σύστημα χάραξης και φρεζαρίσματος με υπερήχους, το οποίο ξεπέρασε τρεις τεχνικές καινοτομίες:
① Τεχνολογία μείωσης κραδασμών υπερήχων υψηλής- συχνότητας
Η δόνηση υπερήχων 20 kHz μειώνει το χρόνο επαφής μεταξύ του τρυπανιού και του υλικού σε μικροδευτερόλεπτα, μειώνει τη δύναμη κοπής κατά 65% και καταστέλλει την κατάρρευση της άκρης από τη ρίζα.
② Ενσωματωμένη προσαρμογή τρυπανιού PCD
Το τρυπάνι είναι κατασκευασμένο από σύνθετο φύλλο διαμαντιού (PCD) σε ένα κομμάτι, με ακρίβεια τόξου αιχμής ±2μm και σύστημα αξονικής διόρθωσης 0,01 μοιρών για να διασφαλίζει την ευθύτητα των οπών βάθους 5 mm.
③ Εργαλεία τοποθέτησης προσρόφησης κενού
Η πλωτή πλατφόρμα αέρα με ανεξάρτητο έλεγχο πολλαπλών περιοχών σταθεροποιεί το σφάλμα επιπεδότητας του δίσκου χαλαζία 280mm εντός 0,005mm, εξαλείφοντας την απόκλιση της θέσης διάτρησης.
Σύγκριση δεδομένων επεξεργασίας: διπλό άλμα στην αποτελεσματικότητα και την ακρίβεια

Η λύση έχει επαληθευτεί από πελάτες σε μαζική παραγωγή για τρεις διαδοχικούς μήνες και η απόδοση της πλάκας ψεκασμού έχει αυξηθεί από 67% σε 98%, εξοικονομώντας στους κατασκευαστές περισσότερα από 8 εκατομμύρια γιουάν σε κόστος απώλειας υλικού χαλαζία κάθε χρόνο.

Βιομηχανική Έμπνευση: Το Τεχνικό Σημείο Καμπής της Μηχανικής Ακριβείας
Η επεξεργασία μικρο{0}}οπών από γυαλί χαλαζία ήταν κάποτε ένας σύνδεσμος "συμφόρησης" που περιόριζε την αναβάθμιση του εξοπλισμού τσιπ. Μέσω της μηχανικής εφαρμογής της τεχνολογίας υπερήχων, η BISHEN όχι μόνο έλυσε το πρόβλημα της επεξεργασίας με μικρο-τρύπες με αναλογία βάθους-προς{4}}διαμέτρου 10:1, αλλά επαλήθευσε επίσης ένα νέο πρότυπο για την ακριβή μηχανική κατεργασία εύθραυστων και σκληρών υλικών - την υψηλή συχνότητα, την αύξηση της σκληρότητας εργαλείων. control, το οποίο έχει καθολική αξία για κατεργασία υπερ-ακριβείας σε βιομηχανίες όπως η κεραμική και το οπτικό γυαλί.
Σχετικά με το Bishen Precision
ΜπισένΗ Precision εστιάζει στην κατασκευή μεταλλικών εξαρτημάτων υψηλής ακρίβειας{{0}. Βασιζόμενη σε μια σύγχρονη παραγωγική βάση 7.500 τετραγωνικών μέτρων, παρέχει λύσεις ενιαίας-για σύνθετα δομικά μέρη στους τομείς της αεροδιαστημικής, των ιατρικών μηχανημάτων και της ρομποτικής. Η εταιρεία θεωρεί την "εξαιρετική ακρίβεια και αξιόπιστη παράδοση" ως βασική ανταγωνιστικότητά της και έχει τη δυνατότητα να παρέχει πλήρεις-υπηρεσίες διεργασιών από τροποποίηση υλικού, επεξεργασία σύνδεσης πολλαπλών-αξόνων έως δοκιμές σε επίπεδα-μικρών. Κατέχει σύστημα διαχείρισης ποιότητας ιατροτεχνολογικών προϊόντων ISO 13485, πιστοποίηση αεροδιαστημικής AS9100 και άλλα προσόντα και έχει παραδώσει περισσότερα από 200.000 βασικά ανταλλακτικά συνολικά, βοηθώντας τους πελάτες να ξεπεράσουν τα όρια της κατασκευής ακριβείας.







