Ένας από τους πελάτες ημιαγωγών μας-ένας ΚΑΕ με έδρα την ΕΕ-που ειδικεύεται στη λιθογραφία EUV-μας προσέγγισε μια πρόκληση: να κατασκευάσουμε μια-υψηλή πυκνότηταπλάκα ψύξης μικροκαναλιούκατασκευασμένο από αλουμίνιο 6061-T6. Το εξάρτημα που απαιτείται πάνω1.200 μικρο-τρύπες, το καθέναØ 0,18 χλστ, με ααναλογία βάθους-προς-διαμέτρου 10:1, καιακρίβεια θέσης κάτω από ±5 μmσε ολόκληρη την επιφάνεια του τμήματος.
Οι βασικές προκλήσεις περιλάμβαναν:
Σπάσιμο εργαλείουλόγω ακραίων αναλογιών διαστάσεων
Διατήρησηευθύτητα τρύπαςσε μεγάλα βάθη γεώτρησης
Διασφάλισηεκκένωση τσιπχωρίς να παραμορφωθούν οι μικρο-οπές
Πρόληψηθερμική παραμόρφωσηκατά τη διάρκεια συνεχούς διάτρησης
Για να αντιμετωπίσουμε αυτά, χρησιμοποιήσαμε:
Εξειδικευμένα εργαλεία μικρο-τρυπήματοςμε εσωτερικά κανάλια ψυκτικού υγρού
Πολλά-βήματαστρατηγικές γεώτρησης ραμφώνμε έλεγχο παραμονής και ανάκλησης
Υπερηχητικό-υποβοηθούμενο ξέπλυμαγια να διασφαλιστεί η εκκαθάριση των τσιπ
Σε-διαδικασίαθερμική σταθεροποίησημεταξύ των περασμάτων για τον έλεγχο της επέκτασης
Μετά από πολλαπλές επαναλήψεις και προσομοιώσεις, υλοποιήσαμε έναΔιαδικασία γεώτρησης και γεώτρησης 2 περασμάτωνπου πέτυχε σταθερή γεωμετρία οπών και ελεύθερες εσωτερικές επιφάνειες-. Δημοσιεύστε-επιθεώρηση μηχανικής με χρήση αΨηφιακό μικροσκόπιο 500×καιCMM με σάρωση ανιχνευτήεπιβεβαιωμένος:
Όλες οι τρύπες μέσα±3 μmζώνη ανοχής
Τραχύτητα επιφάνειας κάτωRa 0,2 μm
Απόκλιση απόστασης οπών-σε-απόκλιση εντός±4 μmσε μια μήτρα 150 mm × 150 mm
Το εξάρτημα πέρασε δοκιμές διαρροής ηλίου, δοκιμές απόδοσης θερμικής μεταφοράς και έγινε δεκτό στην πιλοτική κατασκευή του πελάτη χωρίς νέα επεξεργασία.
