Στον κόσμο της κατασκευής εξοπλισμού ημιαγωγών,η ποιότητα της επιφάνειας δεν έχει να κάνει μόνο με την αισθητική-αφορά τη λειτουργία, τη μακροζωία και την ακρίβεια. Εξαρτήματα όπως τσοκ γκοφρέτας, βάσεις φακών και οδηγοί ακριβείας πρέπει να πληρούν όχι μόνο ανοχές διαστάσεων, αλλά καιακραίες απαιτήσεις φινιρίσματος επιφανειών, συχνά παρακάτωRa 0,1 μm.
Γιατί το νανόμετρο-Επίπεδο φινίρισμα επιφάνειας έχει σημασία
Ο εξοπλισμός ημιαγωγών υψηλής-απόδοσης βασίζεται σε μεγάλο βαθμό στην ακρίβεια επαφής και στη συμβατότητα του καθαρού δωματίου. Μια τραχύτητα επιφάνειας που υπερβαίνει τα όρια νανομέτρων μπορεί:
παρέμβει μεακρίβεια τοποθέτησης γκοφρέτας
Αύξησητριβή και φθοράκατά την κίνηση
Αιτίασκέδαση οπτικού σήματος, επηρεάζοντας τη φωτολιθογραφία
Δημιουργώπαγίδες σωματιδίωναυξάνοντας τους κινδύνους μόλυνσης
Για παράδειγμα, αδαχτυλίδι στήριξης σκηνής γκοφρέταςμε τραχύτητα επιφάνειας πάνω από τις προδιαγραφές μπορεί να προκαλέσει μικρο-δονήσεις, μειώνοντας την ακρίβεια τοποθέτησης και υποβαθμίζοντας την απόδοση.
Η πρόκληση CNC Machining
Η επίτευξη φινιρίσματος επιφάνειας Ra Λιγότερο ή ίσο με 0,1 μm υπερβαίνει κατά πολύ τις τυπικές διαδικασίες CNC. Τα παραδοσιακά εργαλεία και οι παράμετροι συχνά αφήνουν πίσω τους μικρο-γρατσουνιές, σημάδια κατεργασίας ή υπολειπόμενη πίεση-όλα απαράδεκτα σε περιβάλλοντα ημιαγωγών.
Η προσέγγισή μας στο νανομέτρο-Επίπεδο ποιότητας
ΣτοBISHEN Ακρίβεια, έχουμε αναπτύξει ροές εργασιών μηχανικής κατεργασίας ειδικά για εφαρμογές ευαίσθητες στην επιφάνεια:
Χρήση τουεξαιρετικά-εργαλεία καρβιδίου λεπτών κόκκωνμε προσαρμοσμένες γεωμετρίες
Πάσες στίλβωσηςενσωματωμένο σε τελικές διαδρομές εργαλείων
Συστήματα ελέγχου ψυκτικού υγρούγια να αποφύγετε τα μικροσκισίματα-που προκαλούνται από τη θερμότητα
Συντονισμός μεCMM και λευκά-συμβολόμετρα φωτόςγια την επικύρωση της τραχύτητας
Κάθε τμήμα υποβάλλεται σε έλεγχο πολλαπλών-σταδίων όχι μόνο για ανοχές διαστάσεων, αλλάυπο-συνοχή επιφάνειας μικρούσε όλα τα επίπεδα επαφής.
Πραγματική περίπτωση: Καθρέφτης-Τελειωμένες πλάκες στήριξης γκοφρέτας
Ένας πελάτης χρειαζόταν πλάκες γκοφρέτας αλουμινίου με φινίρισμα επιφάνειας καλύτερο απόRa 0,05 μm, ομοιόμορφη σε όλο το εξάρτημα. Χρησιμοποιώντας βελτιστοποιημένες-τεχνικές φινιρίσματος υψηλής ταχύτητας και προσαρμοσμένες στρατηγικές στίλβωσης, παραδώσαμε εξαρτήματα που υπερβαίνουν τις προδιαγραφές-έτοιμα για συναρμολόγηση σε επίπεδο EUV-του καθαρού χώρου.
Μην αφήνετε το Surface Finish να υπονομεύει το σύστημά σας
Η ατέλεια της επιφάνειας στη νανοκλίμακα μπορεί να θέσει σε κίνδυνο τους πιο ακριβείς μηχανισμούς σας. Εάν η αίτησή σας απαιτείτελειώματα οπτικού-βαθμού, ήανώτερη απόδοση τριβής, μίλα μας. Θα βοηθήσουμε να διασφαλίσουμε ότι τα εξαρτήματά σας πληρούν και τα δύοανοχήκαιυφή.
