Στον τομέα της κατασκευής εξοπλισμού ημιαγωγών, οι δακτύλιοι πύλης Polysilicon αποτελούν βασικά στοιχεία στη διαδικασία κατασκευής τσιπ. Κατά την προώθηση του εντοπισμού των βασικών στοιχείων, ένας οικιακός κατασκευαστής εξοπλισμού ημιαγωγών αντιμετώπισε ένα δύσκολο πρόβλημα επεξεργασίας - ήταν απαραίτητο να ολοκληρωθεί η τοποθέτηση υψηλής ακρίβειας και η επεξεργασία αυλάκωσης σε δακτυλίους πολυσιλικού με διάμετρο 290mm και πάχος 45mm και οι παραδοσιακές διεργασίες ήταν δύσκολο να ανταποκριθούν στις ανάγκες μαζικής παραγωγής.
Επεξεργασία υπόβαθρο και σημεία πόνου της βιομηχανίας
Α. Επεξεργασία φόντου
Λόγω των εξαιρετικών ιδιοτήτων του ημιαγωγού, το polysilicon χρησιμοποιείται ευρέως σε δομικά τμήματα πύλης του εξοπλισμού, όπως οι εκφυλιστές ιόντων και τα χαραγμένα. Αυτά τα εξαρτήματα πρέπει να αφαιρέσουν περισσότερα από 7 0% του υλικού μέσω πολλαπλών διαδικασιών λείανσης, εξασφαλίζοντας παράλληλα ότι η εσωτερική στρογγυλότητα του περιγράμματος είναι μικρότερη ή ίση με το 0.
ΣΙ. Δίλημμα παραδοσιακής επεξεργασίας
1. Τα παραδοσιακά μηχανήματα λείανσης έχουν χαμηλή απόδοση επεξεργασίας και ένα μόνο κομμάτι διαρκεί περισσότερο από 8 ώρες
2. Ο ρυθμός τσιμπήματος κατά τη διάρκεια της επεξεργασίας υποδοχής είναι τόσο υψηλός όσο 35%, με αποτέλεσμα τη διάλυση παρτίδας
3. Η απόκλιση του εσωτερικού κύκλου είναι> 0. 015mm, η οποία επηρεάζει την ομοιομορφία της διανομής πλάσματος εξοπλισμού
Λύσεις Bishen: Τεχνολογία Ultrasonic + Λειτουργία συνεργασίας υψηλής ταχύτητας.
Λαμβάνοντας υπόψη τα χαρακτηριστικά επεξεργασίας των σκληρών και εύθραυστων υλικών πολυσυριτών, η τεχνική ομάδα Bishen προσαρμόσει μια λύση τριών σε ένα:
1. Σύστημα χάραξης και άλεσης υπερηχητικών ακριβείας.: Η δόνηση υψηλής συχνότητας 20kHz μειώνει την αντίσταση κοπής κατά 50%
2. DDR κατακόρυφη πικάπ προς τα υψηλής ταχύτητας : 3000rpm ± 1 "ακρίβεια, επίτευξη ελέγχου τροχιάς νανο-επιπέδου
3. Σύνθετη διάλυση εργαλείων κλίσης :
Τα εργαλεία επικαλυμμένα με διαμάντια χρησιμοποιούνται για την ταχεία αφαίρεση υλικών κατά τη διάρκεια της τραχίας επεξεργασίας
Τα εργαλεία Ultrasonic PCD μετατρέπονται για λεπτή επεξεργασία
Τα μετρημένα δεδομένα ανανεώνουν το σημείο αναφοράς του κλάδου
Στην επαλήθευση γραμμής παραγωγής πελατών, η λύση Bishen επιτυγχάνεται:
Η αποτελεσματικότητα της επεξεργασίας αυξήθηκε κατά 2,8 φορές και ο χρόνος επεξεργασίας ενός μόνο τεμαχίου συμπιέστηκε σε 2,8 ώρες
Ο ρυθμός τσιπς της υποδοχής μειώθηκε από 35 % σε 0. 5 % ή λιγότερο
Η στρογγυλή στρογγυλότητα του εσωτερικού κύκλου ελέγχεται σταθερά στο 0. 003-0. 005mm
Η επιφάνεια τραχύτητας RA μικρότερη ή ίση με 0. 4μm, το οποίο είναι καλύτερο από το επίπεδο επεξεργασίας του εισαγόμενου εξοπλισμού
Αυτή η ανακάλυψη έχει αυξήσει το ποσοστό προσόντων μαζικής παραγωγής των δακτυλίων πύλης πολυσυριών των πελατών από 61% σε 98,7%, αντικαθιστώντας με επιτυχία τα εισαγόμενα μέρη.
γιαBishen
Διόγκοςέχει εμπλακεί βαθιά στον τομέα της παραγωγής ακριβείας για περισσότερα από δέκα χρόνια, εστιάζοντας στην επίλυση των προβλημάτων επεξεργασίας "λαιμού" στο ημιαγωγό, των φωτοβολταϊκών και άλλων βιομηχανιών. Τα 7.500 τετραγωνικά μέτρα της εταιρείας του έξυπνου εργοστασίου της εταιρείας είναι εξοπλισμένα με βασικές μονάδες τεχνολογίας, όπως η υπερηχητική υποβοηθούμενη επεξεργασία και ο σύνδεσμος πέντε αξόνων. Παρέχει λύσεις επεξεργασίας βασικών εξαρτημάτων για περισσότερους από 20 κατασκευαστές εξοπλισμού ημιαγωγών εγχώριων. Οι σχετικές τεχνολογίες έχουν περάσει ειδική πιστοποίηση ISO9001 και εξοπλισμού ημιαγωγών και συνεχίζουν να βοηθούν τη διαδικασία της ανεξαρτησίας του εξοπλισμού κατασκευής υψηλού επιπέδου.
